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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本techvision緊湊型UV LED薄膜固化裝置

日本techvision緊湊型UV LED薄膜固化裝置
在晶圓加工完成后,使用波長為365nm的紫外線(UV)照射UV/紫外線固化型薄膜。通過UV照射使粘合劑硬化,從而可以輕松地將芯片或晶圓從具有強粘附力的薄膜上剝離下來。

  • 產(chǎn)品型號:UVC-708
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2026-02-07
  • 訪  問  量:45
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詳細介紹

日本techvision緊湊型UV LED薄膜固化裝置

日本techvision緊湊型UV LED薄膜固化裝置

UVC-708 是一款采用LED光源的緊湊型UV薄膜固化裝置,主要用于半導(dǎo)體制造中的晶圓加工工藝(如切割和背面研磨)。

工作原理

在晶圓加工完成后,使用波長為365nm的紫外線(UV)照射UV/紫外線固化型薄膜。通過UV照射使粘合劑硬化,從而可以輕松地將芯片或晶圓從具有強粘附力的薄膜上剝離下來。

產(chǎn)品規(guī)格

項目參數(shù)
型號UVC-708
工件尺寸200mm / 8英寸兼容
裝置尺寸460mm(寬)× 535mm(深)× 325mm(高)

主要特點

序號特點
1常溫照射,運行成本低
2小型化,桌面式設(shè)計
3操作簡單,按鈕式控制
4LED單元故障檢測功能
58英寸單片式處理


概要


365nmのUV-LEDを使用したコンパクトなUVフィルム硬化裝置です。
UV-LEDの特徴である常溫照射、低ランニングコストはそのままに、8インチウェハに対して全面照射を可能としました。

仕様


モデルワークサイズ裝置寸法
UVC-708200mm/8"対応460mm(W) × 535mm(D) × 325mm(H)

特長



特長
1常溫照射、低ランニングコスト。
2小型、テーブルトップサイズ。
3簡単ボタン操作。
4LEDユニットエラー検出機能。
58インチ枚葉式。


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