日本techvision低熱損傷UV LED照射固化裝置

日本techvision低熱損傷UV LED照射固化裝置
主要用于半導(dǎo)體制造中的UV膠帶固化工藝，適用于晶圓切割、研磨等工序前的膠帶固定和固化。

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日本techvision低熱損傷UV LED照射固化裝置

這是一款采用LED（發(fā)光二極管）作為UV照射光源的LED UV膠帶固化裝置。與傳統(tǒng)設(shè)備（高壓汞燈或金屬鹵化物光源）相比，也能發(fā)揮出充分的固化性能（固化狀態(tài)、固化速度）。

采用Tech Vision自主研發(fā)的高輸出LED驅(qū)動(dòng)器，實(shí)現(xiàn)了250mW/cm2（工作距離10mm）的照射輸出功率。光源部分通過往復(fù)掃描方式均勻照射工件。

LED技術(shù)的核心優(yōu)勢主要用于半導(dǎo)體制造中的UV膠帶固化工藝，適用于晶圓切割、研磨等工序前的膠帶固定和固化。

項(xiàng)目	詳情
自動(dòng)化程度	Cassette to Cassette（CtoC）全自動(dòng)裝置
晶圓尺寸	8英寸（UVC-200A）/ 12英寸（UVC-300A）
照射輸出	250mW/cm2 @ 10mm工作距離
掃描方式	光源往復(fù)掃描，確保均勻照射

主要用于半導(dǎo)體制造中的UV膠帶固化工藝，適用于晶圓切割、研磨等工序前的膠帶固定和固化。

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