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日本techvision旋轉照射式晶圓UV固化裝置UVC-408是Techno Vision推出的高性能UV固化裝置，采用旋轉照射方式實現(xiàn)晶圓全區(qū)域均勻固化，并搭載高效率小流量氮氣置換技術，在確保固化質量的同時大幅降低運行成本和設備占用空間，是半導體制造中光刻膠及各類薄膜UV固化工藝的理想選擇
產品型號：UVC-408廠商性質：經銷商更新時間：2026-02-06訪 問 量：54
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日本techvision旋轉照射式晶圓UV固化裝置
日本techvision旋轉照射式晶圓UV固化裝置.
旋轉照射方式有效消除傳統(tǒng)固定照射造成的照射不均問題。
| 特性 | 說明 |
|---|---|
| 氮氣用量 | 相比傳統(tǒng)裝置大幅減少 |
| 置換效果 | 同時確保可靠的置換效果 |
| 核心技術 | 高效率、小流量N?置換技術 |
| 成本項目 | 節(jié)約效果 |
|---|---|
| 低功耗 | 降低電力消耗 |
| 微量氣體消耗 | 減少氮氣等氣體使用成本 |
| 運行成本（Running Cost） | 整體大幅降低 |
| 效率提升點 | 效果 |
|---|---|
| 裝置成本削減 | 降低設備投資 |
| 潔凈室安裝空間減少 | 減少昂貴的潔凈室占用面積 |
| 綜合制造流程效率化 | 整體優(yōu)化生產效率 |
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 型號 | UVC-408 |
| 光源 | 高壓水銀燈 |
| 對應晶圓 | 8英寸（200mm）/ 12英寸（300mm） |
| 照射方式 | 旋轉型均勻照射 |
| 特殊功能 | 高效率小流量N?置換 |
| 主要應用 | UV薄膜固化（光刻膠、聚酰亞胺等） |
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