亚洲av成人在线免费观看-色综合久久综合精品-人妻丝袜中文字幕在线视频-日本免费一区二区三区在线-亚洲国产欧美一区二区综合麻豆-国内精品伊人久久久久影院对白-国产无遮挡又黄又大又爽又多水

熱門搜索：日本物性測試儀、石川擂潰機、水泥水分計、脫氣消泡罐、粉體硬度計、日本食感試驗機

產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置：首頁  /  產(chǎn)品展示  /  化工機械設(shè)備  /  真空泵  /  SDX600/SDT600日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵
轉(zhuǎn)子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長
新型分區(qū)加熱系統(tǒng)：保持泵腔溫度梯度，減少副產(chǎn)物沉積，提高工藝耐受性

  • 產(chǎn)品型號：SDX600/SDT600
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2026-01-07
  • 訪  問  量：102
立即咨詢

聯(lián)系電話：13823182047

詳細介紹

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

日本kashiyama半導(dǎo)體刻蝕高耐蝕干式真空泵

產(chǎn)品定位

  • SDX：節(jié)能?對應(yīng)苛刻工藝機型
  • SDT / SDH：高工藝耐受性?超級苛刻工藝對應(yīng)機型（SDH為更高耐工藝系列）

關(guān)鍵規(guī)格一覽

機型抽速*極限壓力N?流量冷卻水功耗外形尺寸(mm)
SDX60010,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min1.5 kW695×285×850
SDT60018,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.0 kW695×285×850
SDX120019,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min1.65 kW850×380×950
SDT120030,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.15 kW910×420×900
SDX180050,000 L/min0.5 Pa0–80 SLM3 L/min2.1 kW1050×515×950
SDT1800100,000 L/min0.3 Pa0–120 SLM4 L/min3.3 kW1050×515×950
SDH3000*※咨詢※咨詢4 L/min3.3 kW1050×515×950
SDH6000*※咨詢※咨詢4 L/min3.7 kW1050×515×950
*注：SDH系列為更高工藝耐受版本，詳細性能需聯(lián)系營業(yè)擔當。

通用參數(shù)

  • 電源：3相 AC200–220 V（50/60 Hz）
  • 極限壓力：無加熱、無N?吹掃條件下測得
  • 抽速：為參考值
  • 冷卻水：工業(yè)用水，流量見上表

共同技術(shù)特點

  • 垂直螺桿轉(zhuǎn)子：轉(zhuǎn)子相互無接觸，零摩擦、低粉塵，MTBF 大幅延長
  • 新型分區(qū)加熱系統(tǒng)：保持泵腔溫度梯度，減少副產(chǎn)物沉積，提高工藝耐受性
  • 空冷 + 氣鎮(zhèn)（Gas-Ballast）：無需冷卻水配管即可排蒸氣流，節(jié)省潔凈區(qū)空間
  • 集中監(jiān)控（CMS）接口：可遠程讀取溫度、電流、壓力，與主機臺聯(lián)動

典型應(yīng)用

  • 硅/碳化硅晶圓刻蝕、CVD、ALD、離子注入
  • LED 藍寶石襯底與 GaN 外延層工藝
  • 功率器件、射頻器件的金屬濺射與氧化物成膜
  • 大面積 FPD（TFT-LCD、OLED）干刻與 PECVD 制程


留言詢價

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細地址：

  • 補充說明：

  • 驗證碼：

    請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

掃碼加微信

郵箱：akiyama_zhou@163.com

傳真：

地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002

Copyright © 2026 深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司版權(quán)所有   備案號：粵ICP備2024238191號   技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)

TEL：13823182047

掃碼加微信
淮安市| 无极县| 西吉县| 洪泽县| 会理县| 西华县| 郓城县| 霍林郭勒市| 巴里| 康马县| 治县。| 安福县| 金平| 茌平县| 布尔津县| 潍坊市| 留坝县| 沂源县| 阿勒泰市| 海安县| 章丘市| 华亭县| 南通市| 连平县| 石柱| 五大连池市| 武功县| 扎兰屯市| 衡阳市| 曲麻莱县| 磐石市| 乐安县| 宜宾县| 景泰县| 凉城县| 浮梁县| 平原县| 安徽省| 许昌县| 平南县| 美姑县|