韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器
韓國PlayTG亞微米級顆粒氣體過濾器

• 產(chǎn)品名稱: BIKAL™ IGF系列高純度氣體過濾器
• 產(chǎn)品類型: IGS（Integrated Gas System）專用氣體過濾器
• 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體和顯示制造工藝中的集成氣體系統(tǒng)

主要特點(diǎn)與優(yōu)勢

1. 專為IGS系統(tǒng)設(shè)計(jì) - 針對集成氣體系統(tǒng)的特殊要求優(yōu)化
2. 超高純度過濾 - 確保氣體純凈度滿足半導(dǎo)體工藝要求
3. 緊湊設(shè)計(jì) - 適合空間受限的IGS安裝環(huán)境
4. 高可靠性 - 保證長期穩(wěn)定的過濾性能

技術(shù)規(guī)格

材料規(guī)格

• 過濾元件: 采用高純度材料制造
• 外殼: 316L不銹鋼，表面電解拋光處理

過濾性能

• 去除精度: 亞微米級顆粒過濾
• 顆粒截留率: 99.9999999%（9 LRV）級別
• 氦氣泄漏率: 1×10??cc/sec

操作條件

• 溫度范圍: 適用于半導(dǎo)體工藝溫度要求
• 壓力范圍: 滿足IGS系統(tǒng)工作壓力需求

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

• 專門針對半導(dǎo)體制造中的氣體輸送系統(tǒng)設(shè)計(jì)
• 提供超高純度的氣體過濾解決方案
• 確保工藝氣體的潔凈度和穩(wěn)定性

IGF系列過濾器是PlayTG專門為半導(dǎo)體制造中的集成氣體系統(tǒng)（IGS）開發(fā)的高性能過濾產(chǎn)品IGF系列過濾器是PlayTG專門為半導(dǎo)體制造中的集成氣體系統(tǒng)（IGS）開發(fā)的高性能過濾產(chǎn)品