日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源
日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 通過獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了超過7,000mw/cm2的高輸出。
• 特別適合處理以前需要較長處理時(shí)間的厚膜光刻膠。
• 能夠大幅縮短曝光處理時(shí)間，顯著提高晶圓處理數(shù)量。

規(guī)格

• 使用環(huán)境溫度：5～40℃（無結(jié)露）
• 電源電壓：單相 100～240V
• 電源頻率：50/60Hz
• 發(fā)光峰值波長：365±5nm
• 光輸出穩(wěn)定性：±5％以內(nèi)
• 初始紫外線強(qiáng)度：2000mw/cm2以上（在365nm波長下，距離掩模0.5mm處）
• 強(qiáng)度分布均勻性：4×5mm區(qū)域內(nèi)10％以下
• 紫外線發(fā)光源：UV-LED
• 紫外線發(fā)光源壽命：20000小時(shí)（預(yù)計(jì)壽命，在驅(qū)動(dòng)電流最大時(shí)）
• 照射ON/OFF功能：UV-LED的ON/OFF控制（可通過遠(yuǎn)程和手動(dòng)控制進(jìn)行點(diǎn)亮/熄滅）
• 光量調(diào)整功能：通過調(diào)整UV-LED電流，光量調(diào)整范圍為20～100％
• 外殼材質(zhì)：不銹鋼
• 外形尺寸：150(W) × 200(D) × 192(H) mm