日本kokusai高頻電源用等離子體、半導體等 特點介紹

這是用于半導體制造設備和工業(yè)加工機器等離子發(fā)生的高頻電源。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù)，實現(xiàn)了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優(yōu)化匹配盒，提高匹配收斂速度。

日本kokusai高頻電源用等離子體、半導體等 規(guī)格參數(shù)

通過采用具有高反射功率容限的最新器件，我們實現(xiàn)了即使在全反射狀態(tài)下也能在一定時間內(nèi)實現(xiàn)輸出的設計，無需隔離器且無輸出下降。

高頻電源的設計必須假設負載會動態(tài)變化。例如，即使等離子體點燃前后出現(xiàn)較大的負載波動，反射系數(shù)從無窮大變?yōu)榱悖骷惨欢ú粫p壞。

一般情況下，如果負載情況不好，可以降低輸出，以保護器件本身，并在匹配盒完成匹配操作后，輸出的輸出，也可以應用于無法完成的應用。時間。

*1RF：射頻*2RF 上升時間：RF 輸出從 10% 上升到 90% 的時間

RF 下降時間：RF 輸出從 90% 下降到 10% 的時間

頻率HF頻段、VHF頻段 

輸出功率5/10/20/30/40KW 

輸出方式連續(xù)、脈沖 

這是用于半導體制造設備和工業(yè)加工機器等離子發(fā)生的高頻電源。我們生產(chǎn)各種頻率（HF 至 UHF）的高頻電源和匹配盒。

我們利用在無線通信系統(tǒng)開發(fā)中長年積累的高頻技術(shù)，實現(xiàn)了高反射電阻。

在等離子體阻抗分析的支持下，可以優(yōu)化匹配盒，提高匹配收斂速度。